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无尘室洁净标准

发布日期:2018/7/13 11:02:25 点击数:3678

无尘室洁净标准
(GB50073-2001)  

空气洁净度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5um
1um
5 um
ISO Class 1
10
2
 
 
 
ISO Class 2
100
24
10
4
ISO Class 3
1 000
237
102
35
8
ISO Class 4
10 000
2 370
1 020
352
83
ISO Class 5
100 000
23 700
10 200
3 520
832
29
ISO Class 6
1 000 000
237 000
102 000
35 200
8 320
293
ISO Class 7
 
352 000
83 200
2 930
ISO Class 8
 
3 520 000
832 000
29 300
ISO Class 9
 
35 200 000
8 320 000
293 000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。
  



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